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超純水的電阻率可大于 18  M Ω .cm ，或接近 18.3  M Ω .cm 極限值。實(shí)驗(yàn)室用超純水可以分為三個(gè)級別：一級水基本上不含有溶解或膠態(tài)離子雜質(zhì)及有機(jī)物，它可用二級水經(jīng)進(jìn)一步處理而制得。二級水一般含有微量的無機(jī)、有機(jī)或膠態(tài)雜質(zhì)。三級水適用一般實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)工作。

其具體分為：

1 、蒸餾水(Distilled Water )

實(shí)驗(yàn)室常用的一種純水，雖設(shè)備便宜，但極其耗能和費(fèi)水且速度慢，應(yīng)用會逐漸減少。蒸餾水能去除自來水內(nèi)大部分的污染物，但揮發(fā)性的雜質(zhì)無法去除，如二氧化碳、氨、二氧化硅以及一些有機(jī)物。新鮮的蒸餾水是無菌的，但儲存后細(xì)菌易繁殖 ;此外，儲存的容器也很講究，若是非惰性的物質(zhì)，離子和容器的塑形物質(zhì)會析出造成二次污染。

2 、去離子水(Deionized Water )

應(yīng)用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機(jī)物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細(xì)菌的繁殖。

3 、反滲水(Reverse osmosis Water)

其生成的原理是水分子在壓力的作用下，通過反滲透膜成為純水，水中的雜質(zhì)被反滲透膜截留排出。反滲水克服了蒸餾水和去離子水的許多缺點(diǎn)，利用反滲透技術(shù)可以有效的去除水中的溶解鹽、膠體，細(xì)菌、病毒、細(xì)菌內(nèi)毒素和大部分有機(jī)物等雜質(zhì)，但不同廠家生產(chǎn)的反滲透膜對反滲水的質(zhì)量影響很大。

4 、超純水(Ultra-pure grade water)

其標(biāo)準(zhǔn)是水電阻率為 18.2  M Ω .cm 。但超純水在 TOC 、細(xì)菌、內(nèi)毒素等指標(biāo)方面并不相同，要根據(jù)實(shí)驗(yàn)的要求來確定，如細(xì)胞培養(yǎng)則對細(xì)菌和內(nèi)毒素有要求，而HPLC則要求 TOC低。